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エフコン流量計マスフローコントローラー 50LM Ar (1個)(C1050-4S2-50L-Ar) 取り寄せ商品

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マスフローコントローラー 50LM Ar (1個) 熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

※こちらは【取り寄せ商品】です。必ずをご確認ください。
マスフローコントローラー 50LM Ar (1個)。熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。流量(SLM)：50ガス：Ar流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃)再現性：±0.2%FS流量制御範囲：5～100%FS流体：気体使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下応答性：6sec動作圧力範囲：50～300kPa耐圧：1MPa(G)外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム表面処理：機械加工仕上げ継手：1/4in.SWL相当入出力：アナログ信号(0～5VDC)バルブ形式：N/O ノーマルオープン駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)サイズ：160×33.6×105mm。
検索キーワード:物理・物性測定器物性・物理量測定機器流量計 C10504S250LAr

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